verwarming mocvd reactor met inductie
Inductieverwarming Metalorganic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) reactoren is een technologie gericht op het verbeteren van de verwarmingsefficiëntie en het verminderen van schadelijke magnetische koppeling met de gasinlaat. Bij conventionele MOCVD-reactoren met inductieverwarming bevindt de inductiespoel zich vaak buiten de kamer, wat kan resulteren in minder efficiënte verwarming en mogelijke magnetische interferentie met het gastoevoersysteem. Recente… Lees meer